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臺達 
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打造韌性半導體制造生態: 臺達全場景解決方案矩陣深度解析
2025/04/02
匯聚半導體行業各種前沿技術與解決方案的SEMICON China 2025正在呈現新的行業發展趨勢,行業的產業鏈競爭已從單一突破之爭,演變為全生態韌性構建的大比拼。

首次踏上這一盛會的臺達,帶來了“從設備到工藝,從生產到管理”的全維度解決方案,展示了助力半導體制造內卷破局的行業硬實力。

臺達解決方案矩陣

聚焦半導體行業全場景需求

助力客戶內卷破局

一、制造工藝升級場景——自動化方案打造核心競爭力
 
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不斷升級的工藝流程給半導體加工企業帶來了巨大壓力,企業對先進解決方案的需求也愈發迫切。臺達依托長期積累的工業自動化經驗,助力半導體企業升級生產工藝,打造核心競爭力。
 
  • 針對裸晶(未經封裝芯片)快速精準進行工藝轉換的需求,臺達依托高精度運控系統打造高速裸晶取放解決方案,具備龍門同動功能,并依托AI視覺的加持,確保每一次取放精準無誤。相比傳統螺桿與氣壓缸機構,生產周期縮短15%,產品良率提升20%。
  • 在半導體制造的刻蝕、沉積和電鍍等環節中,溫度的微小波動都可能對最終產品的性能和可靠性產生重大影響。對此,臺達開發多通道溫控器DTDM系列,自主研發控溫演算法,控制精度達到±0.1%,突破了精密溫度控制的技術瓶頸。
  •  為半導體設備提供創新的解決方案,更能夠突出展現臺達工業自動化的優勢:清洗機解決方案能夠快速實現同步控制的精準性,在全面優化清洗機運行效率上大有優勢;依托伺服系統ASDA-A3軟著陸功能,搭配微型直線電機及運動控制軸卡打造的分選機解決方案,力控更加精確,響應更加快速,可有效改善IC分選機檢測準確度;劃片機解決方案則在EtherCAT總線軸卡搭配高慣量伺服電機的加持下,動作快速且不振蕩,能夠降低觸發碰撞損壞的概率。

二、生產制造智能化升級場景——“軟實力”布局制造運營和設計優化
 
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關注制造,臺達不僅僅在生產方面提供高度可靠的解決方案,更通過在智能制造方面的經驗積累,深入布局制造運營和設計優化兩大面向。

應用臺達DIASECS半導體設備通訊和控制應用軟件快速導入符合國際標準的 SECS/GEM 通訊協議,解決制程與底層設備繁多、信息整合不易等問題;采用DIAEAP+設備自動化控制系統構建整合多元通訊標準的設備聯網,搭配邊緣運算技術實時收集設備產參數,實現系統間的數字化貫通;通過DIASPC統計制程管制系統對生產流程進行嚴密監控,協助產線人員快速處理生產過程中的產品質量異常問題,維護制程穩定。

而在設計優化方面,則應用數字孿生,在新產品導入階段,使用臺達虛擬機臺開發平臺DIATwin完成虛實整合設計。即在實體產線建置前,就以虛擬環境預先進電控程序測試、產周期的調校優化,并產制程參數,通過 LineManager 產線聯網應確保虛擬模型與實際產線能同步運作,不斷優化控制參數與制程效能。

三、精密產線升級場景--以高性能設備打造制程效率
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在全球半導體產業升級的背景下,面對先進生產的需求,臺達憑借累積的技術能量,提供側重制程效率與品質優化的先進半導體設備。

前端工藝:晶圓磨邊與檢測

臺達晶圓磨邊機整合獨特影像技術,研磨前實時精確調整砂輪位置,研磨后同時檢測研磨質量,提升產線效率及設備稼動率;晶圓通過臺達晶圓輪廓儀搭配臺達獨有的粗糙度量測模塊及Edge AOI光學檢測模塊,進一步檢測倒角生產質量及邊緣缺角瑕疵;臺達IR 孔洞檢查機具光學自動調光機制,可根據不同厚度、阻值進行光學調試,適用于晶圓孔洞缺陷檢測及質量篩選;臺達分選機擁有平坦度、厚度阻值、表面/側邊缺陷、邊緣輪廓量測、IR孔洞檢測、OCR鐳碼、P/N型量測多樣功能模塊選擇,依需求客制化機型,為裸晶制造作瑕疵篩選,掌控生產狀態與確保產品良率。

后端制程:先進封裝

針對IC封裝測試階段,臺達旗下子公司環球儀器開發高速多芯片先進封裝設備,高度整合FuzionSC™半導體貼片機及高速晶圓送料機,配裝高速芯片送料機構,內含晶圓擴張器及芯片自動取放裝置,適用于高速度高精度貼裝主動或被動組件。

四 、供電管理需求場景——以UPS方案強化電力保障與管理
 
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電力,也是半導體產業的競爭力。面對電力安全與低碳經濟雙重挑戰,臺達推出針對半導體行業的不間斷電源解決方案:
  • DMP系列UPS,具有250-2100kVA功率段,支持八臺并機,提供16.8兆瓦的供電保護,打造更高級別的性能提升,更可靠的供電保護;AC-AC在線效率可達97.5%,幫助半導體產線低成本高效運營;ECO+APF模式(潔凈模式),兼具ECO模式的效率和雙變換模式的性能,確保高供電質量情況下,效率高達99.5%,逆變器并聯旁路供電0ms切換時間;憑借極高效率,以1.2MW電力功耗來計算,DPM系列UPS在10年內可節省近200萬美元的電費。

五、廠務能源監控場景——構建智能一體化能源管理平臺
 
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隨著半導體行業的快速發展,廠務管理同樣面臨著穩定高效、智慧節能的多重挑戰。臺達圍繞廠務管理的核心功能逐層展開,打造極具競爭力的行業解決方案。
 
  • 結合設備控制節能策略,通過臺達全功能型工業組態軟件VTScada構建監控系統,整合工廠水、電、氣等相關用能數據,實現各控制子系統間互聯互通,高效搭建智能廠務管理架構。
  • 基于能耗數據大數據分析模型,為系統提供功能性AI增值服務,實現節能減碳目標達成。
  • 通過硬件冗余、AI控制策略優化、用能調節分析等技術,幫助客戶提升系統的可靠性與節能效果。

?對全球供應鏈重組與制程演進加速趨勢,半導體制造產業正經歷深度轉型。臺達積極應對半導體企業的需求,以前瞻性技術發展策略,為半導體生產制造打造全場景解決方案矩陣,助力客戶在全球市場行穩致遠。

 

新聞來源:中達電通,如有侵權,請聯系刪除

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